目次
総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開
基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）
機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）
著者等紹介
上條榮治［カミジョウエイジ］
龍谷大学理工学部物質化学科教授。（現）龍谷大学名誉教授ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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