出版社内容情報
電子ビームの応用は陰極線管，各種電子管，電顕に始まり，初期の電子工学の中心課題であった．今日では照射熱や分析・測定分野等応用の広がりが著しい．今回１２年ぶりに全面改訂し第３版を発行（執筆者総数９１名）．◆項目 電子・イオンビームの軌道論 空間電荷効果と走行時間効果 電子・イオンビームの照射効果 電子銃 イオン源 レンズ 偏向 ＣＲＴ・撮像管 電子・イオン光学系の教値解析法 ビーム系の測定 電子ビーム架橋とプラズマ重合 電子・イオンビーム加工 電子ビーム溶接 電子ビーム励起レーザ 電子・イオンビームリソグラフィ Ｘ線リソグラフィ技術 プラズマエッチング イオンビームエッチング スパッタ蒸着 イオンプレーティング イオンビーム蒸着 イオン注入 電子・イオンプローブ ビームテスティング 電子ビーム計測回１２年ぶりに全面改訂し第３版を発行（執筆者総数９１名）．
目次
電子・イオンビームの軌道論
空間電荷効果と走行時間効果
電子・イオンビームの照射効果
電子銃
イオン源
レンズ
偏向
ＣＲＴ・撮像管
電子・イオン光学系の数値解析法
ビーム系の測定〔ほか〕
