現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ （第２版）

小島 啓安【著】

日刊工業新聞社（2015/02発売）

• サイズ A5判／ページ数 437p／高さ 21cm
• 商品コード 9784526073663
• NDC分類 549
• Cコード C3054

内容説明

反応性高速スパッタの実務アドバイス。

目次

第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
第３部　応用編（装置；測定；応用；未来へ）

著者等紹介

小島啓安［コジマヒロヤス］
１９７７年、東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キヤノン（株）に５年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また旭硝子（株）に１２年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。その後、技術移転会社などを経て２００３年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として（有）アーステックを設立。２００９年８月より名古屋大学客員准教授。２０１２年３月名古屋大学より学位取得（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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