目次
第１章 薄膜の研究構造―全体を視る眼を養おう
第２章 プラズマプロセスの特異性―診断の木の実
第３章 薄膜の形成過程と構造―ガスも積もれば硬くなる
第４章 内部応力―ストレスのご利益
第５章 薄膜材料の硬さ―硬さの底にあるもの
第６章 密着力―引っ掻くことでわかるもの
第７章 性能劣化―寿命は速度過程である
第８章 複合表面改質―より硬くよりしなやかに
第９章 工業的応用―プラズマのご利益
著者等紹介
市村博司［イチムラヒロシ］
１９４１年東京生れ。工学博士。１９７２年東京工業大学大学院博士課程修了。１９７２年九州大学工学部助手。１９７５年京都セラミックス株式会社。１９８２年住友金属鉱山株式会社。２０００年茨城大学共同研究開発センター客員教授。２００１年神奈川工科大学非常勤講師。２００５年神奈川工科大学客員教授
池永勝［イケナガマサル］
１９６２年関西大学工学部卒業。１９６２年日本スピンドル製造（株）入社。１９８５年住友金属鉱山（株）研究開発本部。日本コーティングセンター（株）技術部長兼務。１９９９年茨城大学工学部非常勤講師、東京都技術アドバイザー、日本電子工業（株）顧問。２０００年茨城大学共同開発研究センター客員教授。加入学会―日本熱処理技術学会、表面技術学会、韓国処理工学会
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