Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik （3RD）

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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik （3RD）

Franz, Gerhard

ウェブストア価格 ¥26,524（本体¥24,113）
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K（2012/10発売）
外貨定価 US$ 119.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 543 p.
言語 GER
商品コード 9783642622847
DDC分類 620

Full Description

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen;