目次
基礎編（マイクロファブリケーション；マイクロ駆動機構（アクチュエータと機構）
マイクロエネルギーデバイス
マイクロメカニカルセンサ）
応用編（マイクロ加工表面修飾による新機能発現；マイクロデバイス；トータルマイクロシステム）
著者等紹介
北原時雄［キタハラトキオ］
湘南工科大学工学部機械工学科教授
石川雄一［イシカワユウイチ］
産業技術総合研究所機械システム研究部門総括研究員。（現）（独）産業技術総合研究所臨海副都心センター所長代理（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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