出版社内容情報
★ ナノテクノロジーの導入により高度化が進むマイクロマシン技術の基礎から応用をこの一冊に集約！！
★ 可能な限り数多くの事例を取りあげ、それら各種マイクロデバイスの原理・構造・性能を解説！！
★ マイクロマシン技術の研究に携わる産・官・学の第一線研究者による最新技術情報を掲載！！
はじめに
マイクロマシン技術は寸法が1mmに満たないようなマイクロ部品を含むデバイスや，それを集積したシステムを製作し，作動させる諸技術の総称である。これは，1980年代後半にSub-mm寸法のメカニカルデバイスやモーター（後にMEMSと呼ばれる）が開発されたことをきっかけに，藤正巌東大教授（当時）が中心になって創った日本生まれの技術コンセプトである。
工業製品の小型軽量化と高機能・多機能化は医療や情報通信をはじめとする多様な産業分野で進められており，また地球環境問題においては省エネルギーの視点から機器の小型・高効率化が求められている。マイクロマシン技術には，このような機器の小型軽量化，低消費動力化，高密度（高集積）化などを実現するためのキーテクノロジーとして大きな期待がかけられている。
1990年代初めに，日米欧の各国はマイクロマシン技術あるいはＭＥＭＳを次世代重要技術であるととらえ，その育成に積極的に取り組んできた。日本では，通商産業省（現経済産業省）が1991年度から研究開発プロジェクトを開始するなど，産・学・官で研究開発が活発に進められてきた。その結果，様々なマイクロ加工法やマイクロデバイスが開発され，技術としての全体像とその効果が明確になってきた。そして現在，ナノテクノロジーの導入による技術のいっそうの高度化等は今後の課題としつつも，マイクロデバイス等の実用化は既に始まっている。そこで，マイクロマシン技術とその応用をまとめ，様々な分野で進められている工業製品の小型・高機能化に向けた取り組みに関する最新の技術を提供することの意義は大きいと判断するに至った。
本書では，マイクロマシン技術の研究開発に取り組んでいる産・学・官の方々に執筆をお願いして，この技術の内容と開発された各種マイクロデバイスの原理，構造，性能，及びその応用を中心に解説して頂いた。また，マイクロデバイスについては，可能なかぎり数多くの事例を採り上げるように努めた。
マイクロマシン技術は産業基盤技術である。本書がマイクロマシン技術とその応用にご関心をお持ちの広範な産業分野の技術者にとって参考となり，その利用の拡大がさらなる技術の高度化につながることを願っている。
2002年3月
湘南工科大学 北原時雄
産業技術総合研究所 石川雄一
執筆者一覧（執筆順）
石川雄一 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 総括研究員
太田 亮 オリンパス光学工業（株） 先進技術研究所 基礎技術部 グループリーダー
平田嘉裕 住友電気工業（株） 播磨研究所 主査
正木 健 松下電器産業（株） 生産技術本部 超加工研究所 主席技師
明渡 純 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 プロセスメカニズム研究グループ グループ長
小木曽久人 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 プロセスメカニズム研究グループ 主任研究員
北原時雄 湘南工科大学 工学部 機械工学科 教授
??木秀樹 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 集積機械研究グループ 主任研究員
谷川民生 産業技術総合研究所 知能システム研究部門 技能・力学研究グループ 主任研究員
川原伸章 （株）デンソー 基礎研究所 第５研究室 室長
鈴森康一 岡山大学 工学部 システム工学科 教授
武田宗久 三菱電機（株） 先端技術総合研究所 センサ技術部 マイクロ実装グループ グループマネージャー
古田一吉 セイコーインスツルメンツ（株） 研究開発部 研究開発二グループ 課長
春日政雄 セイコーインスツルメンツ（株） 開発総括部 開発戦略部 部長
臼田 孝 産業技術総合研究所 計測標準部門 強度振動標準研究室 主任研究員
安藤泰久 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 トライボロジー研究グループ 主任研究官
尾崎浩一 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 微小機構グループ グループリーダー
松本壮平 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 集積機械グループ 主任研究員
矢部 彰 産業技術総合研究所 マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター センター 長
長谷川雅人 金沢大学 自然科学研究科 助手
紙透真一 セイコーエプソン（株） 生産技術開発本部 生産技術開発部 グループリーダー
野田紘憙 日本アイ・ビー・エム（株） （２００２年１月より理化学研究所）
澤田廉士 NTT通信エネルギー研究所 主幹研究員
竹中雅人 セイコーインスツルメンツ（株） ウェアラブル・ビジネス ウオッチ事業部 時計設計部 設計一グループ 課長
戸田明敏 オリンパス光学工業（株） 光学機器開発部 プロダクトリーダー
須藤 肇 （株）東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー 主任研究員
田畑 修 立命館大学 理工学部 機械工学科 教授
大和田邦樹 （株）村田製作所 技術開発本部 第４開発グループ 開発２部 部長
高橋 博 （株）東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー 研究主務
長尾昭一 セイコーエプソン（株） FX推進室 グループリーダー
菊池佑二 食品総合研究所 企画調整部 マイクロチャネルアレイ工学チーム チーム長
山本英二 オリンパス光学工業（株） 先進技術研究所 基礎技術部 基礎２グループ グループリーダー
千葉正毅 ＳＲＩインターナショナル 先端研究開発プロジェクト 本部長
大森 繁 テルモ（株） 研究開発センター 専門研究員
樽井久樹 三洋電機（株） 研究開発本部 ニューマテリアル研究所 電子化学研究部 マテリアル技術ニューマテリアル 担当課長
伊豆博昭 三洋電機（株） 研究開発本部 ニューマテリアル研究所 先端機能材料研究部 先端材料グループ 主任研究員
遠山 修 三菱電線工業（株） 情報通信・フォトニクス研究所 主席研究員
岡崎祐一 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 ファインファクトリー研究グループ グループ長
三島 望 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 主任研究員
芦田 極 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 ファインファクトリー研究グループ 研究員
前川 仁 産業技術総合研究所 産学官連携部門 九州産学官連携センター 主任研究員
大田眞土 セイコーインスツルメンツ（株） 工機部 工機技術課 主査
小川治男 オリンパス光学工業（株） 研究開発センター 先進技術研究所 複合精密部 部長
庄子習一 早稲田大学 理工学部 教授
秋山昌之 セイコーエプソン（株） 生産技術開発本部 理事，本部長
青山尚之 電気通信大学 電気通信学部 知能機械工学科 ロボティクス講座 助教授
構成および内容
＜基礎編＞
第１章 マイクロファブリケーション
１．総論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１ 石川雄一
１．１ 各種微細加工技術の特徴 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3
１．２ マイクロファブリケーションにおける留意点 ・・・・・・・4
２．シリコンプロセス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・６ 太田 亮
２．１概要 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・6
２．２ バルクマイクロマシーニング ・・・・・・・・・・・・・・・・・・6
２．３ 表面マイクロマシニング ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・10
２．４ 最近の研究開発例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・12
２．５ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・15
３．LIGA ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１７ 平田嘉裕
３．１ 標準的なLIGAプロセス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・17
３．２ LIGAプロセス開発の経緯 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・19
３．３ 技術開発 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・19
３．４ 応用例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・23
３．５ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・25
４．マイクロ放電加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２７ 正木 健
４．１ 緒言 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・27
４．２ マイクロ放電加工の特長 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・27
４．３ デジタル磁気デバイス加工への適用事例 ・・・・・・・27
４．４ マイクロマシン製作の課題とμEDMN工法 ・・・・・・・28
５．ビーム加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３１ 明渡 純，小木曽久人
５．１ 光（レーザー）ビーム加工技術 ・・・・・・・・・・・・・・・・31
５．２ 集束イオンビーム（FIB）加工技術 ・・・・・・・・・・・・・・32
５．３ 微粒子・超微粒子ビーム加工技術 ・・・・・・・・・・・・・33
６．機械加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３７ 北原時雄
６．１ 切削加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・37
６．２ 研削加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・38
６．３ 変形加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・39
６．４ その他の機械加工 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・39
７．接 合 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４２ ??木秀樹
８．マイクロマニピュレーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４６ 谷川民生
８．１ マイクロ世界における物理環境 ・・・・・・・・・・・・・・・・46
８．２ マイクロマニピュレータシステム ・・・・・・・・・・・・・・・・47
第２章 マイクロ駆動機構（アクチュエータと機構）
１．総 論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・５０ 川原伸章
１．１ 電磁タイプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・50
１．２ 静電タイプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・52
１．３ 圧電タイプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・53
１．４ 形状記憶合金タイプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・53
１．５ その他のタイプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・53
２．静電型 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・５７ 鈴森康一
３．電磁型 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・６１ 武田宗久
３．１ 原理と特徴 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・61
３．２ 開発事例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・61
４．形状記憶合金型 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・６５ 太田 亮
４．１ 概要 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・65
４．２ 形状記憶合金アクチュエータ原理とその応用 ・・・・・・65
４．３ 形状記憶合金の駆動制御について ・・・・・・・・・・・・・69
４．４ 薄膜形状記憶合金について ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・69
４．５ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・70
５．マイクロ圧電型モータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７２ 古田一吉
５．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・72
５．２ マイクロ圧電型モータの構造と駆動原理 ・・・・・・・・・・72
５．３ 特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・73
５．４ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・74
第３章 マイクロエネルギーデバイス 春日政雄
１．総論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７５
２．機械方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７８
３．化学反応方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８０
３．１ 一次電池 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・81
３．２ 二次電池 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・82
４．電磁誘導方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８２
５．光電変換方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８４
６．熱電変換方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８６
７．その他の方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８８
７．１ 燃料電池 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・88
７．２ マイクロタービン発電 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・90
８ エネルギーマネジメント技術の現状 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９０
第４章 マイクロメカニカルセンサ 臼田 孝
１．総 論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９４
２．マイクロメカニカルセンサの検出原理 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９６
２．１ 抵抗線ひずみ計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・97
２．２ ピエゾ抵抗効果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・97
２．３ ピエゾ圧電効果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・98
２．４ 静電容量変化 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・98
２．５ 振動子の振動数変化 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・99
２．６ その他の原理 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・99
３．センサの校正と不確かさ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１００
＜応用編＞
第１章 マイクロ加工表面修飾による新機能発現
1．接触部の摩擦低減 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０５ 安藤泰久
１．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・105
１．２ 凝着力 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・105
１．３ 凝着力が摩擦力に与える影響 ・・・・・・・・・・・・・・・・106
１．４ 凝着力の低減による潤滑 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・107
１．５ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・109
２．流体（管路）抵抗低減・熱伝導率制御 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１１０
長谷川雅人，矢部 彰，尾崎浩一，松本壮平
第２章 マイクロデバイス
1．インクジェットプリンタヘッド（静電） ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１１４
－静電駆動方式インクジェットの概要・特徴 紙透真一
２．MEMSマイクロアクチュエータのHDDヘッドトラッキングへの応用 ・・・１１９ 野田紘憙
２．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・119
２．２ 技術的背景 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・119
２．３ 各種２段アクチュエータタイプの特徴 ・・・・・・・・・・・・120
２．４ MEMSマイクロアクチュエータに要求される性能 ・・・・122
２．５ MEMSマイクロアクチュエータの設計指針 ・・・・・・・・・123
２．６ プロトタイプの性能 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・125
２．７ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・125
３．DMD ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１２７ 澤田廉士
４．ウォッチムーブメント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３３ 竹中雅人
４．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・133
４．２ アナログクオーツの基本構造 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・133
４．３ アナログクオーツのアクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・134
４．４ カレンダ駆動用アクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・134
４．５ ステップモータの実用例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・135
４．６ 超小型超音波モータの実用例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・135
４．７ ステップモータと超音波モータの比較 ・・・・・・・・・・・・137
４．８ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・138
５．SPM（走査型プローブ顕微鏡） ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３９ 戸田明敏
５．１ 原子間力顕微鏡 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・139
５．２ マイクロカンチレバー ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・140
６．マイクロCCD ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１４４ 須藤 肇
６．１ CCDマイクロカメラの要素技術 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・144
６．２ 反射屈折光学系 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 145
６．３ 三次元高密度実装技術と筐体構造 ・・・・・・・・・・・・・・146
６．４ 観察映像のダイナミックレンジ拡大 ・・・・・・・・・・・・・・・147
６．５ 視線変更機構 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 148
７．シリコン圧力センサ・シリコン加速度センサ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５１ 田畑 修
７．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・151
７．２ 基本構造と検出原理 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・151
７．３ 製作プロセス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・152
７．４ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・154
８．マイクロジャイロ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５６ 大和田邦樹
８．１ 素子構造と動作原理 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・156
８．２ 特徴 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・157
８．３ 性能 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・157
８．４ システム搭載例 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・158
８．５ 応用 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・158
９．光コネクタ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６０ 澤田廉士
１０．光スイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １６５ 澤田廉士
10．１ On-Off MEMSスイッチ（MARSスイッチ，GLV，DMD応用スイッチ） ・・166
10．２ RIEのみで作製したスイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・166
10．３ ファイバ，導波路駆動スイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・168
10．４ 3Dおよびマトリックスミラーアレイスイッチ ・・・・・・・・・ 169
10．５ レンズ駆動スイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・170
10．６ Siステージスイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 173
10．７ Mach Zender干渉スイッチ（TOスイッチ） ・・・・・・・・・・174
10．８ バブル移動スイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・175
10．９ エバネッセント結合スイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・176
10．10 その他のMEMSスイッチ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・178
１１．メモリアクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１８０ 澤田廉士
11．１ フォーカシング用アクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・180
11．２ トラッキング ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・181
11．３ アクチュエータ駆動静電容量センサ付マイクロプローブ ・・・183
１２．インチングワーム機構 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１８５ 高橋 博
１３．マイクログリッパー ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９０ 安藤泰久
13．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・190
13．２ 性能予測と設計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・190
13．３ マイクログリッパーの性能評価 ・・・・・・・・・・・・・・・・・192
13．４ まとめ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・193
１４．ウォッチ用自動巻発電機 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９４ 長尾昭一
14．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・194
14．２ 構成と原理 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・194
14．３ 構造 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・195
14．４ 発電性能 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 196
14．５ 整流方式 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 197
14．６ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 198
１５．マイクロチャネルアレイの開発と血液流動性測定装置MC-FAN ・・・２００ 菊池佑二
15．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・200
15．２ 血液レオロジー計測の意義 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・200
15．３ 微細加工技術による小孔，フィルター，マイクロチャネルアレイ ・・201
15．４ マイクロチャネルアレイのデザインのポイント ・・・・・・・202
15．５ MC-FANの構成 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・204
15．６ 健康と疾患の評価におけるMC-FANの有用性 ・・・・・205
15．７ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・207
１６．マイクロエンコーダ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２０９ 山本英二
１７．高分子アクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２１３ 千葉正毅
１８．医療用マイクロレーザー ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２１８ 大森 繁
18．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・218
18．２ 治療用マイクロレーザーコンセプト ・・・・・・・・・・・・・・・218
18．３ LD励起波長2.8μmレーザー発振 ・・・・・・・・・・・・・・・219
18．４ レーザー実装と蒸散効果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・220
18．５ レーザーヘッドの細径化 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・221
18．６ おわりに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・223
１９．光電変換デバイス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２２４ 伊豆博昭，樽井久樹
19．１ 光電変換素子材料 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・224
19．２ 高電圧マイクロ光電変換デバイスの開発 ・・・・・・・・・224
19．３ 曲面実装マイクロ光電変換デバイスの開発 ・・・・・・・227
19．４ 光電変換素子の高性能化 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・228
19．５ まとめ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・228
２０．超音波診断用プローブ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２３０ 平田嘉裕
20．１ 概要 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・230
20．２ 製造プロセス ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・231
20．３ 特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・233
２１．SMAコイル ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２３５ 遠山 修
21．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・235
21．２ SMAコイルアクチュエータ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・235
21．３ SMAコイルアクチュエータの基本特性 ・・・・・・・・・・・・236
21．４ SMAコイルアクチュエータの応用例（スコープ先端首振り機構）・・・239
21．５ まとめ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・241
第３章 トータルマイクロシステム
１．マイクロメンテナンスシステム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２４２
１．１ 管内自走環境認識システム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・242 川原伸章
１．２ 細管群外部検査システム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・250 武田宗久
１．３ 機器内部作業試作システム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・259 太田 亮
２．マイクロファクトリ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２６８
２．１ マイクロ加工・組立用試作システム ・・・・・・・・・・・・・・・268 古田一吉
２．２ ポータブル型機械加工マイクロファクトリ ・・・・・・・・・・・・ 275
２．２．１ 全体システム 岡崎祐一
２．２．２ マイクロ旋盤 岡崎祐一
２．２．３ マイクロフライス盤 三島 望
２．２．４ マイクロプレス 芦田 極
２．２．５ マイクロ搬送マニピュレータ 前川 仁
２．２．６ マイクロ組立用マニピュレータ 谷川民生
２．３ 小型精密機械部品用高機能ミニ生産システムの開発 ・・292
－東葛・千葉地域コンソーシアム開発研究 大田眞土
２．４ 精密機器のマイクロアセンブリ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・297 小川治男
３．マイクロ流体システム ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３０４
３．１ マイクロTAS ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・304 松本壮平
３．２ マイクロリアクター ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・308 庄子習一
３．３ 医療機器用スーパーデバイスの開発 －地域コンソーシアム開発プロジェクト ・・・312 秋山昌之
４．マイクロロボットシステム－開発と応用－ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３１７ 青山尚之
４．１ はじめに ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・317
４．２ ミリサイズ超精密移動機構 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・317
４．３ 様々な微細作業機器の搭載 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・319
４．４ ２台の超小型ロボットによる協調微細加工 ・・・・・・・・・・320
４．５ 数台の超小型ロボットによる複雑な作業 ・・・・・・・・・・・323
４．６ まとめ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・327
