演習 圧電アクチュエータ―基礎から超音波モータまで

内野 研二【著】

森北出版（1991/07発売）

• サイズ A5判／ページ数 132p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784627771604
• NDC分類 548.3
• Cコード C3055

出版社内容情報

ハイテクを支えるアクチュエータの最新情報を紹介．［関連ビデオ有ります］

■目次　マイクロアクチュエータの流れ／強誘電体の基礎／アクチュエータ用圧電・電歪材料／圧電アクチュエータの構造と製法／微小変位の測定法／駆動・制御法／サーボ変位素子／パルス駆動モータ／超音波モータ／開発動向

目次

１章　マイクロアクチュエータの流れ
２章　強誘電体の基礎
３章　アクチュエータ用圧電／電歪材料
４章　圧電アクチュエータの構造と製法
５章　微小変位の測定法
６章　圧電アクチュエータの駆動／制御法
７章　サーボ変位素子
８章　パルス駆動モータ
９章　超音波モータ
１０章　圧電アクチュエータの開発動向