電気学会大学講座<br> 電子・イオンビーム工学

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電気学会大学講座
電子・イオンビーム工学

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  • サイズ A5判/ページ数 321p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784886862174
  • NDC分類 549
  • Cコード C3054

内容説明

本書は、真空中での電子やイオン、すなわち、荷電粒子の挙動を理解し、新材料、高機能デバイス開発という観点も考慮にいれて記述したものである。

目次

第1章 電子とイオン
第2章 電子の発生とビーム形成
第3章 イオンの発生と引き出し
第4章 荷電粒子の運動とビーム輸送
第5章 電子の密度変調と速度変調
第6章 荷電粒子ビームと固体表面との相互作用
第7章 荷電粒子ビーム応用装置