イオンビームによる物質分析・物質改質

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イオンビームによる物質分析・物質改質

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  • サイズ A5判／ページ数 347p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784753650330
  • NDC分類 549.1
  • Cコード C3055

目次

１　イオンビーム物質分析（ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分光法）
ＥＲＤ（反跳原子検出法）
ＮＲＤ（核反応検出法）
ＰＩＸＥ　ほか）
２　イオンビーム物質改質（イオン注入技術；イオン注入による表層改質；イオンビームデポジション；クラスターイオンビーム技術　ほか）