出版社内容情報
微小分析装置の代表である電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は，素材の基礎研究から高密度高品質製品の解析等で広く普及しつつある．本書はこの基礎理論から現場の分析技術までを具体的に示した微小分析の決定版．◆項目 Ⅰ基礎編（装置と分析法の概要 電子とＸ線 装置各部の構造と役割 ＥＰＭＡ〈電子線マイクロアナリシス〉の空間分解能） Ⅱ応用編（試料作成の基本 分析条件の設定 データの解析と解釈 表面観察〈電子線像〉の実際 定性分析の実際 線分析の実際 面分析〈Ｘ線像〉の実際 定量分析の実際 状態分析の実際 ＥＰＭＡ〈電子線マイクロアナリシス〉のさまざまな付属機能および自動化 オペレータが行う装置の診断と調整） Ⅲ付表、付図
内容説明
本書は「ＥＰＭＡとは何ぞや」をあらためて整理し、基本を理論と実際面から十分理解するとともに、精度良く利用するための詳細な現場的分析技術と、臨機応変な広い応用技術について書かれたものである。
目次
装置と分析法の概要
電子とＸ線
装置各部の構造と役割
ＥＰＭＡの空間分解能
試料作成の基本
分析条件の設定
データの解析と解釈
表面観察（電子線像）の実際
定性分析の実際
線分析の実際
面分析（Ｘ線像）の実際
定量分析の実際
状態分析の実際
ＥＰＭＡのさまざまな付属機能および自動化
オペレータが行う装置の診断と調整
