表面と薄膜分析技術の基礎

表面と薄膜分析技術の基礎

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  • サイズ A5判/ページ数 353p/高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784303712006
  • NDC分類 428.4
  • Cコード C3055

内容説明

本書では、イオン、電子、光子等の固体内の振舞いを示すとともに、その結果として生ずる現象を材料分析に応用する際の理論的根拠、分析を行うための装置構成、さらには実際の分析を行う際に遭遇するであろう問題点を、豊富な例題をまじえて解説している。

目次

1章 序章―概念、単位、そしてボーア原子
2章 原子衝突と後方散乱法
3章 軽イオンのエネルギー損失と深さプロファイル
4章 スパッタによる深さプロファイル―2次イオン質量分析法
5章 チャネリング
6章 電子‐電子相互作用と分子分光法の深さ感度
7章 表面構造解析
8章 固体中の光子吸収とEXAFS
9章 X線光電子分光法(XPS)
10章 放射遷移と電子マイクロプローブ
11章 非放射遷移とオージェ電子分光法
12章 核技術―放射化分析と即発放射線分析