Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten : Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik (2011. 192 S. 220 mm)
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Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten : Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik (2011. 192 S. 220 mm)  Paperback

Klein, Cornelia

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  • SÜDWESTDEUTSCHER VERLAG FÜR HOCHSCHULSCHRIFTEN(2011発売)
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